水質具體參數如下
去離子水標準

 
蒸餾水標準
  
 1 灼燒渣含量 （≤0.01 %）  
 2 錳（Mn）含量 （≤0.00001%） 
  3 鐵（Fe）含量 （≤0.0004 %）  
 4 氯（Cl） （≤0.0005 %）  
  5 還原高錳酸鉀物質（O）含量 （≤0.0002%） 
  6 透明度 （mm） 無色透明   
 7 電阻率（25℃） （≥10x104 Ωcm）  
  8 硝酸及亞硝酸鹽（以N計） （ ≤0.0003%）  
 9 銨（NH4）含量 （≤0.0008 %）   
 10 堿土金屬氧化物（CaO計） （≤0.005%）
純度要求  
 蒸餾水的質量標準之一是含鹽量一般在1～5mg/L左右。因為水中的含鹽量減少，水的
電阻率增加，就能用測定水的電阻率來衡量水的純度。蒸餾水的電阻率要求在0.1×106Ω·cm（歐·厘米）左右。
 
用途：
 1、實驗室、化驗室用水,一般實驗室的常規試驗、配置常備溶液、清洗玻璃器皿等;

1. 電子工業生產,如顯像管玻殼、顯像管、液晶顯示器、線路板、計算機硬盤、集成電路芯片、單晶硅半導體等; 3、電力鍋爐，鍋爐所需軟化水、除鹽;

1. 汽車、家用電器、建材表面涂裝、電鍍、鍍膜玻璃清洗等;
2. 石油化工行業,化工反應冷卻水、化學藥劑、生產配液用水等; 6、工業紡織印染、鋼鐵清洗用水等;

1. 食品、飲料、酒類、化妝品生產用水;